碳化硅专家Obermeier教授受聘清华客座教授

碳化硅专家Obermeier教授受聘清华客座教授 9月25日下午，德国柏林工业大学Obermeier教授接受聘请，成为清华大学客座教授。
聘请仪式在精仪系会议室举行。副校长谢维和出席了聘请仪式并为Obermeier教授颁发了聘书。
Obermeier教授长期以来致力于推动和发展柏林工业大学与清华大学的合作。在他的建议和支持下，从2006年起，两校开展了联合培养精仪系本科“微机电系统工程”学生的项目，柏林工业大学每年8月接收清华10名本科生去Obermeier锆英砂教授的实验室进行为期一个月的MEMS工艺实习，Obermeier教授本人也已经连续两年来清华讲授“MEMS加工技术”课程。此次Obermeier教授来校还将和清华进一步发展柏林工业大学－清华大学联合培养双学位硕士生的项目。
精仪系系主任尤政教授主持了仪式，副系主任王伯雄教授介绍了Obermeier教授的学术成就。出席聘请仪式的还有德国柏林工业大学国际处、清华大学国际合作与处、精仪系相关负责人。
随后，Obermeier教授作了题为“MEMS at the Technical University of Berlin”的报告。（精仪系 供稿 编辑 李含 襄桦）
附：Obermeier教授简介
Pro.Obermeier1977年毕业于慕尼黑工业大学电气工程系，获工学博士学位。其后加入德国慕尼黑夫琅和费研究协会，从事硅传感器和多晶硅工艺的研究。1988年被聘为柏林工业汽车贴纸大学电气工程系教授，微传感器和执行器技术研究所主任。为微型传感器和执行器领域著名专励磁电源家学者，尤其在硅纤维管和碳化硅工艺、微传感器和微执行器、MEMS技术、微加工和微键合技术等方面有突出贡献。任IEEE / ASME Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS)编委。多次担任两年一次在世界举行的传感器国际会议项目委员会的主席，国际会议 Transducers 01 in Munich的总主席，欧洲MME研讨会年会的发起人之一。主要研究领域有：硅和碳化硅工艺，微传感器和微执行器，MEMS技术，空气MEMS(Aero MEMS)，微加工和微键合技术等。曾经以他在多晶硅微压力传感器方面的杰出贡献于1988年获Schlumberger Stitching （施伦贝谢。史蒂清）奖。主要著作有：Sensortechnik Handbuch fuer Praxis und Wissenschaft（传感器实践与科学手册）等。在国内杂志上发表论文300余篇，发明专利17项。